产品名称：静电卡盘（ESC）高压电源模块产品简介：晶圆静电吸附专用高压直流电源模块，为静电卡盘提供稳定、可调的高压输出，实现晶圆的牢固吸附与精准定位，保障制程过程中晶圆无偏移、无划伤。技术规格
- 输出电压：0–5kV DC 连续可调
- 输出电流：≤15mA
- 电压稳定性：±0.1%
- 控制方式：模拟量（0–10V）/ 数字量远程控制
- 响应时间：≤50ms
- 保护功能：过压、过流、短路、过热保护
- 绝缘耐压：≥10kV DC功能特点
- 高压输出纹波极小，吸附力均匀稳定
- 多重安全保护机制，杜绝设备与晶圆损坏风险
- 支持快速吸附 / 释放切换，适配高速制程节拍
- 与 AMAT 各系列 ESC 静电卡盘完美匹配
- 体积小巧，安装灵活，适配多种设备布局应用场景：Centura/Endura 系列晶圆制程、PVD/CVD/Etch 制程晶圆静电吸附、离子注入设备 ESC 驱动、先进封装制程晶圆固定、超薄晶圆制程吸附。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 