产品名称：射频功率传输线缆组件产品简介：半导体设备射频系统专用低损耗、高屏蔽传输线缆，连接射频电源、匹配网络与工艺腔体，保障射频功率高效、稳定、无干扰地传输至等离子体激发区域。技术规格
- 适配频率：13.56MHz/27MHz/60MHz
- 阻抗：50Ω 标准阻抗
- 功率承载：中高功率（≤5kW）射频传输
- 材质：高纯度无氧铜芯 + 聚四氟乙烯（PTFE）绝缘 + 双层不锈钢屏蔽网
- 插入损耗：≤0.08dB/m
- 接头类型：N 型 / 7/16" DIN 标准射频接头
- 弯曲半径：≥10 倍线缆直径功能特点
- 射频传输效率极高，功率损耗极低
- 双层屏蔽，彻底隔绝电磁干扰（EMI）
- 耐温、耐化学腐蚀、抗老化，使用寿命长
- 接头连接可靠，接触电阻稳定，无打火风险
- 柔性好，便于设备内部布线安装应用场景：ICP/RIE 刻蚀设备射频传输、PECVD 沉积设备射频电源连接、等离子体清洗设备射频布线、射频匹配网络与腔体连接、半导体射频工艺设备。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 