产品名称：设备 I/O 信号扩展控制板卡产品简介：半导体设备主控系统专用信号扩展板卡，用于扩充数字量与模拟量 I/O 通道，实现外围执行机构、传感器信号的集中采集与控制输出。技术规格
- 工作电压：24V DC
- 通道配置：16 路数字输入、8 路数字输出、4 路模拟量输入
- 信号隔离：光电隔离，隔离电压≥2500V
- 响应时间：≤1ms
- 通信接口：DeviceNet/RS485
- 工作温度：0℃～50℃
- 防护等级：IP20（设备内部使用）功能特点
- 多通道独立扩展，即插即用免配置
- 信号隔离抗干扰，适配复杂电磁环境
- 实时数据传输，控制响应快速稳定
- 支持状态反馈与故障自诊断
- 兼容 AMAT Centura/Endura 系列控制系统应用场景：设备传感器信号扩容、阀件 / 泵体 / 机械手控制扩展、工艺参数采集、设备安全联锁系统扩充。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 