产品名称：高精度气体压力调节阀产品简介：半导体高纯工艺气路专用精密压力调节阀，实现工艺气体压力稳定调节与精准控制，保障气体输送压力恒定，提升制程一致性。技术规格
- 阀体材质：316L EP 级不锈钢
- 调节范围：0.1MPa～1.0MPa
- 控制精度：±0.5% F.S.
- 适用介质：高纯惰性气体、腐蚀性工艺气体
- 密封材质：全氟醚 FFKM
- 工作温度：-20℃～150℃
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s He功能特点
- 压力调节平稳，无脉动、无超调
- 耐强腐蚀，适配多种危险工艺介质
- 零泄漏设计，长期运行稳定性高
- 结构紧凑，安装空间需求小
- 免维护周期长，降低运营成本应用场景：CVD/PVD/ 刻蚀设备气路稳压、高纯气体管道系统、特种气体输送控制、半导体厂集中供气系统。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 