产品名称：真空腔体观察窗组件产品简介：半导体真空制程腔体专用高压密封观察窗，用于腔体内部等离子体状态、晶圆位置与工艺过程实时观测，兼顾超高真空密封与光学透过性能。技术规格
- 窗体材质：熔融石英 / 高硼硅光学玻璃
- 密封结构：金属刀口密封 + 全氟醚 O 型圈双重密封
- 适用真空度：≤10⁻⁹Torr
- 工作温度：-40℃～300℃
- 透光率：≥95%（紫外 - 可见光波段）
- 耐压：≥25MPa
- 洁净等级：SEMI C12 级功能特点
- 超高真空密封稳定，无泄漏、无放气
- 光学透过率高，观测清晰无畸变
- 耐等离子体冲刷、耐化学腐蚀
- 结构强度高，抗热冲击与机械冲击
- 安装定位精准，重复拆装一致性好应用场景：刻蚀 / 沉积 / 清洗腔体内部观测、等离子体状态监控、晶圆传输过程可视化、设备维护与故障诊断。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 