产品名称：真空腔体密封适配法兰组件产品简介：半导体真空腔体与外部管路、泵组连接专用高精度密封法兰，采用金属面密封与弹性密封双重结构，保障超高真空环境的长期稳定，适配各类刻蚀、沉积、清洗设备。技术规格
- 材质：316L EP 级不锈钢
- 密封形式：金属 VCR/VCO 面密封 + 全氟醚 O 型圈
- 适用真空度：≤10⁻⁹Torr
- 工作温度：-40℃–300℃
- 耐压：≥25MPa
- 洁净等级：SEMI C12 级，无颗粒、无有机污染物
- 规格：标准 ISO/KF/ CF 法兰接口功能特点
- 超高真空密封性能，零泄漏，可靠性极高
- 耐化学腐蚀、耐等离子体冲刷、耐高温
- 安装定位精准，重复拆装密封性一致
- 表面电解抛光，易清洁，低污染
- 长寿命设计，减少维护停机时间应用场景：Endura/Centura 系列腔体真空接口、分子泵 / 干泵连接、刻蚀 / 沉积设备真空管路密封、超高真空系统法兰连接、半导体厂真空管道系统。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 