产品名称：真空系统压力控制模块产品简介：半导体真空制程专用闭环压力控制模块，集成压力传感、调节与控制功能，实现腔体真空压力的精准、稳定调节，保障工艺过程压力一致性。技术规格
- 测量范围：10⁻³Torr–760Torr
- 控制精度：±0.1% F.S.
- 响应时间：≤100ms
- 输出信号：4–20mA/RS485
- 阀体材质：316L EP 级不锈钢
- 密封材质：FFKM 全氟醚
- 工作温度：-10℃–80℃功能特点
- 闭环自动控制，压力稳定无波动
- 抗腐蚀，适配多种工艺气体环境
- 多重保护，防止过压与真空泄漏
- 安装便捷，即插即用
- 与 AMAT 真空控制系统无缝兼容应用场景：刻蚀 / 沉积腔体压力控制、真空传输系统稳压、分子泵出口压力调节、半导体厂真空管道压力监控。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 