产品名称：晶圆承载台定位销组件产品简介：晶圆承载系统专用精密定位销，用于晶圆在承载台上的精准定位与固定，确保晶圆在制程过程中无偏移、无划伤，保障制程均匀性。技术规格
- 材质：陶瓷 / PEEK 复合材料
- 表面粗糙度：Ra≤0.1μm
- 定位精度：±0.005mm
- 硬度：≥HRC 60
- 工作温度：≤400℃
- 洁净等级：SEMI C12 级功能特点
- 表面超光滑，不划伤晶圆表面
- 材质耐磨、低粉尘、无金属污染
- 定位精准，重复定位一致性极高
- 耐高温、耐化学腐蚀
- 适配 200mm/300mm 晶圆承载台应用场景：PVD/CVD/ 刻蚀腔体晶圆定位、真空传输系统晶圆固定、自动化晶圆处理平台、先进封装制程晶圆定位。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 