产品名称：设备安全联锁连接器组件产品简介：半导体设备安全系统专用联锁连接器，用于腔体门、维护盖板、模块插拔等安全状态的电气信号连接与反馈，触发安全联锁逻辑，保障设备与人员安全。技术规格
- 触点类型：镀金双触点
- 额定电压：24V DC
- 触点电流：≤2A
- 绝缘电阻：≥100MΩ
- 防护等级：IP67（设备内部）
- 机械寿命：≥1,000,000 次功能特点
- 强制导向触点，故障安全型设计
- 快速插拔，便于设备维护与模块更换
- 信号传输稳定，抗干扰能力强
- 状态反馈实时，异常立即触发联锁
- 兼容 AMAT 全系列设备安全系统应用场景：腔体门安全联锁、设备维护盖板联锁、模块插拔安全检测、紧急停止回路信号连接、设备安全保护系统。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 