产品名称：真空腔体密封 O 型圈组件产品简介：半导体真空腔体、门阀、法兰连接专用高性能密封 O 型圈，采用全氟醚材质，实现超高真空环境下的零泄漏密封，保障腔体真空稳定。技术规格
- 材质：Kalrez/FFKM 全氟醚橡胶
- 硬度：75 Shore A
- 适用真空度：≤10⁻⁹Torr
- 工作温度：-20℃–300℃
- 耐化学性：耐受所有半导体工艺气体
- 洁净等级：SEMI C12 级，无析出、无颗粒功能特点
- 超高真空密封性能，零泄漏，可靠性极高
- 耐高温、耐强化学腐蚀，使用寿命长
- 弹性好，压缩永久变形小
- 表面洁净，易清洁，不污染腔体
- 适配 AMAT 全系列真空腔体与法兰应用场景：Endura/Centura 系列腔体密封、真空门阀密封、法兰连接密封、分子泵接口密封、超高真空系统密封。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 