产品名称:晶圆传输机械手末端执行器组件产品简介:真空晶圆传输系统专用机械手末端执行器(End Effector),用于晶圆的平稳抓取、传输与放置,确保晶圆无划伤、无颗粒污染。技术规格
- 材质:陶瓷 / 碳纤维复合材料
- 承载能力:≤300g(200mm 晶圆)
- 定位精度:±0.02mm
- 表面粗糙度:Ra≤0.1μm
- 工作温度:≤200℃
- 洁净等级:SEMI C12 级功能特点
- 超轻量设计,降低机械手负载
- 表面超光滑,不划伤晶圆
- 材质耐磨、低粉尘、无金属污染
- 抓取平稳,无冲击、无偏移
- 适配 AMAT 真空传输机械手系统应用场景:200mm/300mm 晶圆真空传输、集群设备晶圆交接、刻蚀 / 沉积腔体晶圆取放、自动化晶圆处理生产线。




AMAT QS-100NP-MP
AMAT 0200-09768