产品名称：晶圆传输机械手末端执行器组件产品简介：真空晶圆传输系统专用机械手末端执行器（End Effector），用于晶圆的平稳抓取、传输与放置，确保晶圆无划伤、无颗粒污染。技术规格
- 材质：陶瓷 / 碳纤维复合材料
- 承载能力：≤300g（200mm 晶圆）
- 定位精度：±0.02mm
- 表面粗糙度：Ra≤0.1μm
- 工作温度：≤200℃
- 洁净等级：SEMI C12 级功能特点
- 超轻量设计，降低机械手负载
- 表面超光滑，不划伤晶圆
- 材质耐磨、低粉尘、无金属污染
- 抓取平稳，无冲击、无偏移
- 适配 AMAT 真空传输机械手系统应用场景：200mm/300mm 晶圆真空传输、集群设备晶圆交接、刻蚀 / 沉积腔体晶圆取放、自动化晶圆处理生产线。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0200-09768 