产品名称：快速接头式高纯气体过滤器组件产品简介：半导体工艺气路专用快速连接式超高精度气体过滤器，采用快插接头设计，实现气体快速净化与更换，保障工艺气体洁净度。技术规格
- 过滤精度：0.003μm
- 过滤效率：≥99.9999%
- 材质：316L EP 不锈钢 + PFA 滤芯
- 适用压力：真空–0.7MPa
- 工作温度：-10℃–80℃
- 接口规格：1/4 英寸快速接头
- 洁净等级：SEMI C12 级功能特点
- 超高精度过滤，彻底去除微颗粒与污染物
- 快速插拔设计，更换便捷，减少停机时间
- 流阻小，气体输送效率高
- 耐化学腐蚀，适配多种高纯工艺气体
- 无释放、无析出，不污染气体应用场景：刻蚀 / 沉积 / 外延工艺气体净化、特种电子气体输送、半导体厂大宗气体系统、晶圆制程前端气路净化。
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 