产品名称：射频匹配控制模块产品简介：半导体射频电源系统的自动匹配控制单元，稳定射频功率传输效率。技术规格
- 输入信号：0～10V 模拟控制
- 匹配频段：13.56MHz 标准工业射频
- 响应时间：≤10ms
- 通信接口：RS485 / 模拟量双兼容功能特点
- 实时调节负载阻抗，提升射频耦合效率
- 宽范围自适应匹配，兼容不同工艺腔体
- 抗电磁干扰强，运行稳定无漂移
- 支持远程监控与参数写入应用场景
- PVD、PECVD、RIE 等射频驱动制程设备
- 半导体晶圆镀膜、刻蚀工艺的射频系统
- 8 英寸 / 12 英寸晶圆生产线射频单元
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 