产品名称：气体质量流量控制组件产品简介：高精度工艺气体流量控制单元，保障制程气体配比精准稳定。技术规格
- 控制精度：±1% F.S.
- 响应速度：≤50ms
- 适用气体：惰性气体 / 反应性气体兼容
- 流量范围：标准量程可定制功能特点
- 多层过滤防颗粒污染
- 高精度闭环控制，流量无波动
- 耐腐蚀流道，适配多种工艺气体
- 支持热插拔与快速校准应用场景
- CVD、ALD、Etch 制程工艺气体输送
- 半导体前道制程气路控制系统
- 高纯特种气体精密计量与输送
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AMAT 0190-19897
2026-02-26 16:40 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0190-19897
品牌AMAT
型号0190-19897
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