产品名称：真空腔体压力传感器组件产品简介：高真空环境压力监测传感单元，提供腔体真空度实时反馈。技术规格
- 测量范围：1×10⁻⁹ Torr～1×10³ Torr
- 精度等级：±0.5%
- 输出信号：0～10V/4～20mA 双输出
- 防护等级：IP54（设备内部安装）功能特点
- 宽量程高精度真空测量
- 抗污染设计，长期稳定不漂移
- 快速响应，实时反馈腔体压力变化
- 兼容设备原厂控制系统应用场景
- 半导体真空反应腔、传输腔压力监控
- PVD/CVD/Etch 设备真空系统
- 晶圆制程真空安全联锁监测
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AMAT 0191-00114
2026-02-26 16:40 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0191-00114
品牌AMAT
型号0191-00114
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