产品名称：晶圆传输定位导轨组件产品简介：晶圆机械手传输系统的精密导向定位部件，保证晶圆传输无划伤、无偏移。技术规格
- 材质：阳极氧化铝 + 耐磨涂层
- 直线度：≤0.01mm/m
- 摩擦系数：≤0.05
- 适配尺寸：200mm/300mm 晶圆功能特点
- 超低摩擦，减少颗粒产生
- 高刚性抗变形，长期运行精度稳定
- 防静电设计，保护晶圆不被静电损伤
- 标准化安装，快速替换应用场景
- 晶圆传输机械手、真空传输模块
- 半导体制程设备晶圆进出定位系统
- 12 英寸晶圆自动化产线传输单元
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AMAT 0240-70922
2026-02-26 16:40 已有人浏览 小编
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产品AMAT 0240-70922
品牌AMAT
型号0240-70922
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