产品名称：设备控制信号处理板卡产品简介：半导体设备主控系统的信号处理核心板卡，负责模拟 / 数字信号的采集、转换与逻辑控制。技术规格
- 输入通道：32 路数字量 + 16 路模拟量
- 输出通道：32 路数字量 + 8 路模拟量
- 模拟量范围：0～10V/4～20mA
- 采样频率：10kHz
- 通信接口：RS485、EtherNet/IP
- 工作电压：24VDC功能特点
- 高速信号处理，实时响应工艺指令
- 光电隔离，强抗电磁干扰能力
- 故障自诊断，快速定位异常
- 支持热插拔，在线维护不影响生产
- 兼容原厂控制系统，即插即用应用场景
- 半导体设备传感器、执行器信号采集
- 设备主控系统与腔体单元通信
- PVD、CVD、Etch 等设备控制单元
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 