产品名称：晶圆定位校准工装组件产品简介：半导体设备晶圆传输与工艺定位的校准专用工装，用于恢复与保证设备定位精度。技术规格
- 材质：航空级不锈钢
- 校准精度：≤0.002mm
- 适配尺寸：200mm/300mm 晶圆
- 表面硬度：≥HRC58
- 安装方式：快速卡接 / 螺纹紧固功能特点
- 原厂标准尺寸，校准精度可靠
- 高耐磨，重复使用不变形
- 专用定位结构，快速安装校准
- 降低维护调试难度与时间
- 兼容多系列 AMAT 设备应用场景
- 半导体设备年度维护、精度校准
- 晶圆传输机械手、腔体定位校正
- 设备工艺调试与良率优化
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AMAT 0020-26588
2026-02-26 17:03 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0020-26588
品牌AMAT
型号0020-26588
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