产品名称：射频电源匹配网络模块产品简介：半导体射频驱动设备专用匹配网络，实现射频电源与腔体负载的阻抗匹配，提升功率传输效率。技术规格
- 工作频段：13.56MHz/2MHz（标准）
- 功率容量：≥10kW
- 匹配范围：5Ω～500Ω
- 调节精度：±0.1Ω
- 响应时间：≤50ms
- 接口形式：N 型 / 7/16" 射频接头功能特点
- 自动阻抗匹配，快速锁定最佳匹配点
- 高功率承载，低损耗、高效率
- 耐高压、耐高温，适配恶劣工况
- 多重保护：过压、过流、驻波保护
- 兼容主流射频电源与腔体负载应用场景
- PECVD、RIE、ICP 等射频驱动制程设备
- 半导体射频电源输出端匹配
- 设备射频系统效率优化
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 