产品名称：真空腔体压力监测传感器组件产品简介：半导体真空腔体专用高精度压力传感单元，实时监测腔体内部真空度，为工艺控制提供精准数据。技术规格
- 传感器类型：电容式 Baratron 压力传感器
- 测量范围：1×10⁻⁹ Torr～1000 Torr（多量程可选）
- 精度等级：±0.25% FS
- 响应时间：≤10ms
- 输出信号：4～20mA/0～10V
- 工作温度：-40℃～85℃
- 防护等级：IP67功能特点
- 超高精度、高稳定性，长期测量无漂移
- 抗电磁干扰，适配复杂工业环境
- 快速响应，实时反馈压力变化
- 耐腐蚀，适配多种工艺气体
- 兼容原厂控制系统，校准便捷应用场景
- 半导体真空腔体、气路系统压力监测
- PVD、CVD、Etch 设备真空度闭环控制
- 高纯工艺气体输送系统压力监控
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 