产品名称：晶圆传输系统真空门阀片组件产品简介：半导体真空传输模块（Load Lock/Transfer Module）核心密封部件，实现腔体间的真空隔离与晶圆通道切换，保障传输系统的真空完整性与晶圆传输安全性。技术规格
- 适配口径：DN160（300mm 制程标准）
- 密封形式：金属 C 形环密封（铜 / 不锈钢）
- 开启行程：80mm
- 工作压力范围：常压～1×10⁻⁹ Torr
- 材质：铝合金（阀片本体）+ 不锈钢 316L（密封面）
- 工作温度：-30℃～120℃
- 动作寿命：≥50 万次循环功能特点
- 零泄漏密封，确保真空系统稳定性
- 轻量化设计，阀门开关响应时间≤0.8 秒
- 防静电表面处理，杜绝晶圆静电吸附
- 耐颗粒污染，易清洁结构设计
- 与气动执行器完美适配，动作平稳无冲击应用场景
- 300mm 晶圆真空传输模块门阀系统
- 光刻机与制程设备之间的真空隔离阀
- 半导体晶圆自动化生产线（EFEM）真空通道控制
AMAT 1410-01325 
AMAT 0041-96739 
AMAT 0010-76086 
AMAT 0020-89739 