产品名称：设备主电源分配与保护模块产品简介：半导体整机设备的核心电源管理单元，负责将外部工业电源转换并分配至各子系统，同时提供过压、过流、过热、短路等全面保护，保障设备电气系统稳定运行。技术规格
- 输入电压：三相 480V AC，50/60Hz
- 输出电压：三相 208V AC、单相 120V AC、24V DC
- 额定输入电流：125A
- 保护等级：UL Listed，CE 认证
- 防护等级：IP20（机柜内部安装）
- 冷却方式：强制风冷
- 工作温度：0℃～55℃功能特点
- 多通道独立输出，各子系统电源隔离
- 智能故障诊断，LED 指示灯直显故障类型
- 快速响应保护机制，毫秒级切断故障电源
- 模块化冗余设计，支持在线更换电源模块
- 兼容设备控制系统，实现远程电源状态监控应用场景
- 半导体刻蚀、沉积、离子注入设备主电源系统
- 晶圆检测与量测设备电源分配
- 工业自动化大型设备电气控制中心
AMAT 0010-09035 
AMAT 0100-01222 
AMAT 0050-38614 
AMAT 0200-35113 