产品名称：高精度晶圆定位传感器组件产品简介：半导体晶圆传输与制程过程中的核心检测部件，采用激光测距与视觉识别技术，实现晶圆中心定位、缺口 / 平边识别与姿态检测，确保晶圆精准处理。技术规格
- 检测对象：200mm/300mm 晶圆兼容
- 定位精度：±0.005mm
- 识别方式：激光三角测量 + 缺口图像识别
- 响应时间：≤20ms
- 工作电压：24VDC
- 输出信号：RS485（Modbus RTU）、数字量开关信号
- 工作环境：真空 / 常压兼容，洁净室 Class 1功能特点
- 双模式检测，兼顾定位精度与识别速度
- 抗环境光干扰，适应设备内部复杂光照
- 非接触式测量，无晶圆损伤风险
- 内置自校准程序，长期使用精度稳定
- 小型化设计，易于集成于机械手或腔体端口应用场景
- 晶圆传输机械手末端定位与姿态矫正
- 制程腔体晶圆装载前对位检测
- 晶圆自动分选机与检测设备的定位系统
AMAT 0200-35113 
AMAT 0050-30838 
AMAT 0020-21885 