产品名称：真空馈通连接器组件产品简介：半导体真空腔体专用电气贯穿部件，用于腔体内部与外部控制系统的信号与电源传输，同时保持腔体超高真空密封状态，适用于各类真空制程设备。技术规格
- 密封等级：≤1×10⁻¹⁰ Torr・L/s
- 针脚数量：12 针 / 24 针可选
- 额定电压：≤500V AC/DC
- 额定电流：单针≤5A
- 材质：316L 不锈钢外壳、陶瓷绝缘
- 工作温度：-20℃～150℃
- 适配腔体：200mm/300mm 标准真空腔体功能特点
- 全密封结构，无泄漏、无释气，维持腔体高洁净度
- 电气绝缘性能优异，抗干扰能力强
- 耐真空、耐腐蚀，适配长期真空工况
- 标准化接口，安装便捷、兼容性强
- 支持多通道信号与电源同时传输应用场景
- 半导体真空腔体内部传感器、加热器供电与信号传输
- PVD、CVD、Etch 设备真空馈通连接
- 超高真空环境电气贯穿解决方案
AMAT 0140-16621 
AMAT 0050-30838 
AMAT 0020-21885 
AMAT 03-83601-00 