产品名称：晶圆传输机械手伺服驱动控制器产品简介：半导体晶圆自动化传输系统专用伺服控制单元，负责机械手运动控制、定位校准与状态反馈，保障晶圆传输精准、稳定、高效。技术规格
- 控制轴数：4 轴同步控制
- 控制方式：位置 / 速度 / 力矩三环控制
- 通信接口：EtherCAT、RS485
- 工作电压：24VDC
- 定位精度：≤0.005mm
- 响应时间：≤2ms
- 工作温度：0℃～50℃功能特点
- 多轴协同控制，运动平滑无抖动
- 高精度定位，重复定位误差极小
- 多重保护：过流、过压、过载、过热保护
- 实时故障诊断与报警输出
- 兼容 AMAT 主流传输机械手系统应用场景
- 300mm/200mm 晶圆真空传输机械手控制
- 制程设备晶圆进出单元驱动控制
- 半导体自动化产线传输系统
AMAT 0100-01222 
AMAT 0050-38614 
AMAT 0200-35113 