产品名称：真空角阀气动执行器组件产品简介：半导体真空管路专用角阀驱动部件，为高真空角阀提供快速、可靠的开关动力，适配高纯气体与真空系统控制。技术规格
- 驱动方式：气动单作用 / 双作用
- 工作气压：0.4～0.8MPa
- 开关时间：≤0.5s
- 适用阀门：1/4"～1" 真空角阀
- 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶
- 工作温度：-10℃～80℃
- 动作寿命：≥100 万次功能特点
- 动作快速稳定，响应灵敏
- 零泄漏密封，满足高真空要求
- 耐腐蚀，适配各类高纯工艺气体
- 结构紧凑，适合狭小空间安装
- 支持位置反馈信号输出应用场景
- 半导体真空系统管路阀门控制
- 高纯工艺气体输送管路开关控制
- PVD、CVD、Etch 设备气路系统
AMAT 0100-01222 
AMAT 0050-38614 
AMAT 0200-35113 