产品名称：高精度气体质量流量控制器产品简介：半导体工艺气体专用流量控制部件，采用热式质量流量测量原理，实现工艺气体精准流量调节与稳定输出，保障制程一致性。技术规格
- 流量范围：50sccm～10slm
- 精度等级：±1% FS
- 响应时间：≤100ms
- 工作压力：≤3MPa
- 接口规格：1/4" VCR
- 材质：316L EP 级不锈钢
- 输出信号：4～20mA、0～5V功能特点
- 实时流量监测与闭环控制
- 流量稳定无波动，控制精度高
- 超低死体积，减少气体残留
- 耐腐蚀，适配腐蚀性工艺气体
- 支持远程控制与校准应用场景
- 半导体 CVD、Etch、PVD 工艺气体流量控制
- 高纯特种气体输送系统
- 实验室气体精密计量与控制
AMAT 0010-76086 
AMAT 0020-89739 
AMAT 0090-20298 