产品名称：晶圆传输臂末端执行器组件产品简介：半导体晶圆传输机械手专用抓取部件，用于安全、稳定地夹持与搬运晶圆，适配真空与洁净室环境。技术规格
- 适配晶圆：200mm/300mm
- 材质：航空铝合金 + 防静电涂层
- 夹持方式：真空吸附 / 机械夹持
- 吸附压力：-80～-100kPa
- 定位精度：≤0.01mm
- 工作环境：Class 1 洁净室、真空兼容
- 负载能力：≤5kg功能特点
- 防静电设计，保护晶圆不受静电损伤
- 轻量化高刚性，运动无变形、无颗粒
- 夹持力均匀，避免晶圆边缘破损
- 真空泄漏检测，保障抓取安全
- 标准化接口，快速更换维护应用场景
- 半导体晶圆真空 / 大气传输机械手
- 制程设备晶圆装载 / 卸载单元
- 12 英寸 / 8 英寸晶圆自动化产线
AMAT 0200-35113 
AMAT 0050-30838 
AMAT 0020-21885 