产品名称：设备主控通信接口板卡产品简介：半导体设备控制系统核心通信板卡，负责设备各模块间数据交互、指令传输与状态反馈，保障整机系统稳定通信。技术规格
- 通信接口：RS232、RS485、Ethernet
- 协议支持：Modbus、TCP/IP、DeviceNet
- 工作电压：24VDC
- 传输速率：10/100Mbps 自适应
- 隔离电压：2500Vrms
- 工作温度：-10℃～60℃
- 防护等级：IP20功能特点
- 多协议兼容，适配多种设备控制系统
- 光电隔离，抗电磁干扰能力强
- 数据传输稳定，无丢包、无延迟
- 故障自诊断，支持远程状态监控
- 即插即用，安装配置简便应用场景
- 半导体刻蚀、沉积、离子注入设备通信
- 设备主控单元与子模块数据交互
- 工厂自动化系统数据采集
AMAT 0140-16621 
AMAT 0050-30838 
AMAT 0020-21885 
AMAT 03-83601-00 