产品名称：腔体温度监测传感器组件产品简介：半导体真空腔体专用高精度温度传感器，实时监测腔体内部温度，为工艺温控系统提供精准数据支撑。技术规格
- 传感器类型：K 型 / N 型热电偶
- 测温范围：-50℃～800℃
- 精度等级：±0.5℃
- 响应时间：≤50ms
- 防护材质：316L 不锈钢护套
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr
- 线缆长度：1m/2m/3m 可选功能特点
- 测温精准稳定，长期使用无漂移
- 耐高温、耐腐蚀，适配腔体恶劣环境
- 真空密封设计，不破坏腔体真空度
- 抗干扰能力强，信号传输稳定
- 标准化安装，校准便捷应用场景
- 半导体真空腔体、加热基座温度监测
- PVD、CVD、Etch 设备工艺温度控制
- 高温制程腔体温度实时监控
AMAT 1350-00255 
AMAT 0020-10186 
AMAT 0041-96739 