产品名称：高纯气体管路过滤器产品简介：半导体高纯气体输送系统净化部件，用于过滤气体中的颗粒、杂质与污染物，保证工艺气体纯度，提升制程良率。技术规格
- 过滤精度：0.003μm
- 处理流量：1～20slm
- 工作压力：≤2MPa
- 接口规格：1/4" VCR 面密封
- 材质：316L EP 级不锈钢
- 密封件：FFKM 全氟醚橡胶
- 工作温度：-10℃～60℃功能特点
- 超高过滤效率，去除纳米级颗粒
- 低压降设计，不影响气体流量
- 耐腐蚀，适配各类腐蚀性特种气体
- 无释气、无析出，保证气体纯度
- 一次性使用，更换便捷应用场景
- 半导体高纯工艺气体输送管线过滤
- 气体质量流量控制器前端保护
- 刻蚀、沉积设备气路净化系统
AMAT 0140-16621 
AMAT 0050-30838 
AMAT 0020-21885 
AMAT 03-83601-00 