产品名称：腔体内部隔热屏蔽组件产品简介：安装于真空腔体内部的隔热与热屏蔽部件，用于隔离高温区域与腔体外壳，稳定温度场，降低能耗。技术规格
- 材质：多层金属隔热片 + 陶瓷复合结构
- 耐温范围：室温～800℃
- 导热系数：≤0.5 W/(m・K)
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 高效隔热，减少热量损耗
- 耐高温冲击，不开裂、不变形
- 低释气、高洁净度
- 结构稳固，抗振动
- 便于拆装维护应用场景
- 高温 CVD、PVD、退火炉腔体
- 半导体加热制程热隔离
- 高端晶圆制程设备腔体隔热
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AMAT 0020-25731
2026-02-27 09:33 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0020-25731
品牌AMAT
型号0020-25731
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