产品名称：晶圆传输定位校准工装产品简介：用于设备维护、机械手校正、腔体定位精度恢复的专用校准工装，保证设备运行精度与良率稳定。技术规格
- 材质：不锈钢 / 航空铝合金
- 校准精度：≤0.002 mm
- 表面处理：精密研磨
- 适用机型：AMAT 全系列标准平台功能特点
- 原厂基准尺寸，校准结果可靠
- 高刚性，重复使用不变形
- 快速定位，缩短维护时间
- 提升设备重复定位精度
- 降低调试难度应用场景
- 晶圆机械手精度校正
- 腔体中心定位校准
- 设备年度 PM 维护
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AMAT 0020-26578
2026-02-27 09:33 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0020-26578
品牌AMAT
型号0020-26578
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