产品名称：真空腔体密封压盖组件产品简介：用于真空腔体顶部或侧面的密封盖板，保证腔体在高真空、高温、等离子体环境下长期密封可靠。技术规格
- 材质：阳极氧化铝 / 316L 不锈钢
- 密封形式：双 O 型圈真空密封
- 平面度：≤0.01 mm
- 耐温：-20℃～250℃
- 真空等级：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 高密封性，零泄漏
- 耐化学腐蚀、耐等离子体
- 结构刚性强，不变形
- 拆装便捷，维护简单
- 标准化接口，通用性强应用场景
- 半导体真空反应腔、传输腔密封
- CVD、PVD、Etch 设备腔体盖
- 高真空制程设备密封系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 