产品名称：晶圆升降导向套组件产品简介：用于晶圆升降销运动导向的精密套筒部件，保证升降销垂直运动、无卡顿、无偏摆，提升定位稳定性。技术规格
- 材质：自润滑陶瓷 / 不锈钢
- 内孔圆度：≤0.003 mm
- 表面粗糙度：Ra ≤0.2 μm
- 工作温度：-20℃～300℃功能特点
- 自润滑，无需额外润滑脂
- 低摩擦、低颗粒产生
- 高耐磨，寿命长
- 导向精度高，运行平稳
- 真空环境兼容应用场景
- 加热基座升降销导向
- 静电卡盘升降机构
- 各类真空腔体升降系统
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AMAT 0020-34140
2026-02-27 09:35 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0020-34140
品牌AMAT
型号0020-34140
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