产品名称：真空机械手关节轴承组件产品简介：晶圆传输机械手核心转动关节部件，用于实现机械手灵活、精准、平稳运动，适配高洁净真空环境。技术规格
- 类型：真空专用精密关节轴承
- 材质：不锈钢 + 陶瓷滚珠
- 润滑：干膜真空润滑
- 寿命：≥100 万次转动
- 适用环境：高真空、Class 1 洁净室功能特点
- 超低摩擦，运动无抖动
- 无粉尘、无油污释放
- 高刚性、高负载能力
- 长期稳定，免维护
- 抗腐蚀、抗等离子体应用场景
- 真空传输机械手关节
- 300mm / 200mm 晶圆搬运系统
- EFEM、Load Lock 传输机构
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 