产品名称：腔体加热模块绝缘组件产品简介：用于加热基座、加热电极的高压绝缘与支撑部件，隔绝电流、保证加热均匀稳定，不产生漏电与打火。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷
- 绝缘电阻：≥10¹² Ω
- 耐压：≥5 kV DC
- 耐温：-20℃～450℃
- 平面度：≤0.01 mm功能特点
- 超高绝缘强度，杜绝高压放电
- 耐高温、长期使用不老化
- 机械强度高，不易碎裂
- 低释气、高洁净
- 尺寸精度高，装配一致性好应用场景
- 加热基座绝缘支撑
- 射频腔体、等离子体设备绝缘
- 高温制程电气绝缘系统
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AMAT 0040-03578
2026-02-27 09:36 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0040-03578
品牌AMAT
型号0040-03578
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