产品名称：真空腔体节流挡板组件产品简介：用于调节真空腔体抽速与压力的精密节流部件，实现压力稳定控制，适配各类真空制程工艺。技术规格
- 材质：316L 不锈钢 / 铝合金
- 调节角度：0～90°
- 密封：全氟醚 O 型圈
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr
- 工作温度：-20℃～150℃功能特点
- 线性调节，压力控制平稳
- 无卡顿、无卡滞
- 耐腐蚀、易清洁
- 结构紧凑，占用空间小
- 支持气动 / 电动驱动应用场景
- 真空腔体压力微调
- 刻蚀、沉积、镀膜设备压力控制
- 半导体真空系统流量调节
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AMAT 0040-09557
2026-02-27 09:36 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0040-09557
品牌AMAT
型号0040-09557
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