产品名称：设备主控电源管理板卡产品简介：半导体设备控制系统核心电源管理板卡，负责整机供电分配、电压转换、稳压输出与故障保护，保障设备电气系统稳定运行。技术规格
- 输入电压：220V AC / 24V DC
- 输出通道：6 路独立稳压输出
- 输出电压：24V DC、12V DC、5V DC
- 纹波系数：≤0.1%
- 保护功能：过压、过流、短路、过热保护
- 工作温度：0℃～55℃功能特点
- 多路独立供电，互不干扰、稳定性强
- 高精度稳压输出，保证控制系统可靠工作
- 快速响应保护机制，毫秒级切断故障电源
- 内置故障诊断电路，便于快速定位异常
- 模块化设计，支持在线维护与更换应用场景
- 半导体刻蚀、沉积、量测设备主控系统
- 传感器、伺服驱动、I/O 模块供电
- 设备安全联锁与报警系统电源
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 