产品名称：高精度真空压力传感器组件产品简介：基于电容式传感原理的超高精度压力检测部件，用于真空腔体与气路系统压力实时监测，为制程控制提供精准数据。技术规格
- 传感器类型：电容式 Baratron
- 测量范围：0.001 Torr～1000 Torr
- 精度等级：±0.25% FS
- 响应时间：≤10 ms
- 输出信号：4～20 mA / 0～10 V
- 接液材质：316L 不锈钢功能特点
- 长期稳定性优异，无零点漂移
- 抗电磁干扰能力强，适应复杂工况
- 耐腐蚀，兼容各类腐蚀性工艺气体
- 快速响应，实现压力实时闭环控制
- 支持原厂校准与远程监控应用场景
- PVD、CVD、Etch 腔体真空监测
- 高纯气体管路压力控制
- 半导体前道制程真空系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 