产品名称：腔体温度采集探头组件产品简介：半导体真空腔体专用高精度温度检测探头，用于实时监测腔体、加热基座或工艺部件温度，确保温控系统精准运行。技术规格
- 传感器类型：PT1000 铂电阻 / 热电偶
- 测温范围：-50℃～800℃
- 精度等级：±0.1℃
- 响应时间：≤30 ms
- 护套材质：316L 不锈钢
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 测温精准稳定，长期使用无漂移
- 耐高温、耐腐蚀，适应腔体恶劣环境
- 真空密封结构，不破坏腔体真空状态
- 抗干扰能力强，信号传输稳定可靠
- 标准化接口，安装与校准便捷应用场景
- 真空腔体、加热基座温度监测
- PVD、CVD、Etch 设备工艺温度闭环控制
- 高温制程腔体实时温度监控
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 