产品名称：真空传输机械手连接法兰组件产品简介：用于真空机械手与传输腔体、负载锁之间连接的密封法兰，实现结构固定、真空密封与信号贯穿功能。技术规格
- 材质：316L 不锈钢 / 高强度铝合金
- 密封形式：双 O 型圈真空密封
- 平面度：≤0.01 mm
- 真空等级：≤1×10⁻⁹ Torr
- 工作温度：-20℃～120℃
- 适配口径：200mm / 300mm 标准接口功能特点
- 高真空密封性能，长期使用零泄漏
- 结构强度高，支撑稳定不形变
- 定位精准，保证机械手安装同心度
- 耐腐蚀、耐振动、易于清洁
- 标准化接口，通用性强应用场景
- 真空机械手与传输腔体连接
- Load Lock、EFEM 系统法兰连接
- 半导体晶圆自动化传输系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 