产品名称：腔体内部屏蔽隔板组件产品简介：安装于真空腔体内部的电磁与热屏蔽隔板，用于隔离电场、磁场与高温区域，保证工艺环境稳定。技术规格
- 材质：不锈钢 / 铝合金复合结构
- 屏蔽效能：≥30 dB
- 耐温范围：-20℃～600℃
- 表面处理：电解抛光 / 钝化
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr
- 厚度：5～10 mm功能特点
- 有效屏蔽电磁干扰，保证工艺稳定性
- 高效隔热，降低腔体壁温度波动
- 低释气、高洁净，不污染工艺环境
- 结构刚性强，抗振动、抗冲击
- 拆装便捷，便于腔体维护应用场景
- 等离子体刻蚀、射频腔体电磁屏蔽
- 高温制程腔体热隔离
- 半导体高真空设备内部屏蔽系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 