产品名称：加热基座绝缘支撑柱组件产品简介：用于高温加热基座的绝缘支撑部件，提供高压电气隔离与结构支撑，适用于高真空、高温、高电压工况。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷
- 绝缘电阻：≥10¹² Ω
- 耐压等级：≥5 kV DC
- 工作温度：-20℃～600℃
- 高度公差：±0.01 mm
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 超高绝缘强度，杜绝漏电、击穿、打火
- 耐高温性能优异，长期使用不老化、不变形
- 机械强度高，抗震、抗压、抗冲击
- 超低释气率，维持腔体高洁净度
- 精密尺寸，保证装配一致性应用场景
- 加热基座、射频电极绝缘支撑
- PVD、CVD、ALD 高温制程腔体
- 高真空电气绝缘结构部件
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 