产品名称：晶圆升降销固定座组件产品简介：用于晶圆升降销安装定位与导向的基座部件，保证升降销运动垂直、平稳、无偏摆，减少颗粒产生。技术规格
- 材质：不锈钢 / 铝合金
- 定位精度：≤0.005 mm
- 表面粗糙度：Ra ≤0.2 μm
- 工作温度：-20℃～350℃
- 适配销径：3～6 mm
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 定位精准，保证升降销运动直线度
- 自润滑结构，无油脂、无粉尘污染
- 高耐磨、低摩擦，使用寿命长
- 结构紧凑，安装空间小
- 易于拆卸维护与清洁应用场景
- 加热基座、静电卡盘升降销导向
- 刻蚀、沉积腔体升降机构
- 高真空晶圆支撑与升降系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 