产品名称：加热模块绝缘支撑柱产品简介：用于半导体腔体加热基座、加热电极的专用绝缘支撑柱，提供稳定机械支撑与高压电气隔离，适配高温、高真空、高电压复合工况。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷
- 绝缘电阻：≥10¹² Ω
- 耐压等级：≥5kV DC
- 工作温度：-20℃～600℃
- 高度公差：±0.01mm
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 高压绝缘性能稳定，无漏电、无打火
- 耐高温老化，长期服役不脆化、不变形
- 超高洁净度，无挥发、无金属污染
- 抗压强度高，支撑稳定不倾斜
- 适配多种加热基座结构，通用性强应用场景
- 真空腔体加热基座绝缘支撑
- 射频加热、电阻加热系统绝缘部件
- 高温 PVD、氧化、退火工艺设备
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 