产品名称：真空腔体电极固定绝缘座产品简介：用于半导体真空腔体内部电极、加热模块的绝缘支撑与固定部件，提供高压电气隔离与结构支撑，适配高电压、高真空、高温环境。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷
- 绝缘电阻：≥10¹²Ω
- 额定耐压：≥5kV DC
- 工作温度：-20℃～600℃
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr
- 尺寸公差：±0.01mm功能特点
- 超高绝缘强度，杜绝漏电、击穿、打火现象
- 耐高温老化，长期服役不脆化、不变形
- 机械强度高，支撑稳定不倾斜
- 超低释气，不产生污染物影响制程良率
- 精密加工，装配一致性与互换性强应用场景
- 等离子体刻蚀、射频腔体电极绝缘支撑
- 加热基座、射频电极高压绝缘固定
- 半导体高真空电气绝缘系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 