产品名称：晶圆传输导向定位块产品简介：用于晶圆传输通道、负载锁腔体内部的导向定位部件，保证晶圆传输路径精准，避免偏移、卡滞与划伤。技术规格
- 材质：防静电工程塑料 + 铝合金
- 表面粗糙度：Ra≤0.2μm
- 定位精度：±0.01mm
- 工作温度：-20℃～120℃
- 防静电性能：10⁶～10⁹Ω
- 适用环境：Class 1 洁净室功能特点
- 防静电处理，避免晶圆静电损伤
- 表面光滑无毛刺，不划伤晶圆边缘
- 结构稳固，长期使用不变形、不偏移
- 低粉尘产生，适配超高洁净环境
- 安装便捷，可快速调整定位位置应用场景
- 晶圆传输机械手、Load Lock 腔体导向
- 制程设备晶圆进出通道定位
- 半导体自动化产线晶圆传输系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 