产品名称：腔体内部密封压环组件产品简介：用于真空腔体内部件密封压紧的环形结构件，保证密封面均匀受力，实现高真空环境下长期稳定密封。技术规格
- 材质：316L 不锈钢 / 阳极氧化铝
- 平面度：≤0.01mm
- 压紧力分布均匀度：≥95%
- 工作温度：-20℃～250℃
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr
- 表面处理：电解抛光 / 钝化功能特点
- 压紧力均匀分布，避免密封件局部受力不均
- 高强度结构，长期使用不变形、不松动
- 耐腐蚀、耐等离子体冲刷
- 拆装便捷，维护简单
- 标准化接口，适配多种腔体密封结构应用场景
- 真空腔体喷淋头、观察窗、法兰密封压紧
- CVD、Etch、PVD 设备腔体密封系统
- 半导体高真空设备密封压紧部件
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 