产品名称：晶圆升降销组件产品简介：用于真空腔体内部晶圆升降动作的精密部件，实现晶圆平稳升降、精准定位，适配加热基座与静电卡盘结构。技术规格
- 材质：高纯陶瓷 / 不锈钢 316L
- 升降行程：5～20mm
- 直线度：≤0.01mm
- 表面粗糙度：Ra≤0.2μm
- 工作温度：-20℃～350℃
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 超高耐磨性，长期使用不磨损、不卡顿
- 超低释气、低粉尘，不污染腔体环境
- 防静电处理，避免晶圆静电损伤
- 升降动作平稳，无冲击、无抖动
- 尺寸精度高，互换性强应用场景
- 加热基座、静电卡盘晶圆升降机构
- 刻蚀、沉积、离子注入设备腔体升降系统
- 高真空晶圆支撑与传输部件
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 